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真空镀膜颗粒:光学与功能薄膜材料指南
真空镀膜用颗粒(蒸发料)涵盖氧化物、硫化物、硒化物、碲化物、氟化物、合金及高纯金属颗粒,是光学镀膜、装饰镀膜、功能薄膜制备的核心原材料。中科金研提供全系列蒸发镀膜颗粒,纯度最高可达99.9995%,颗粒大小可定制。
四大类镀膜颗粒及用途
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类别 |
代表材料 |
主要用途 |
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氧化物 |
氧化铝、氧化钛、氧化铪、氧化钇、ITO |
光学增透膜、绝缘膜、高折射率膜 |
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硫化物/硒化物/碲化物 |
硫化锌、硒化锌、碲化铋 |
红外光学、热电薄膜 |
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氟化物 |
氟化钙、氟化镁、氟化钇 |
低折射率光学膜 |
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金属及合金 |
金、银、铜、钛、镍铬、钨钛 |
导电膜、阻挡层、装饰膜 |
颗粒与靶材:蒸发与溅射的选择
颗粒(蒸发料)适用于电阻蒸发、电子束蒸发工艺,成本低、换料方便;靶材适用于磁控溅射,镀膜均匀性和致密度更好、适合大面积量产。根据设备类型选择:蒸发设备用颗粒,溅射设备用靶材。部分材料既可做颗粒也可做靶材原料。中科金研同时提供蒸发颗粒与溅射靶材,客户可根据设备类型一站式采购。
纯度致密度与粒度匹配
纯度直接影响薄膜成分和光学/电学性能,杂质造成吸收、散射和性能波动;致密度影响蒸发稳定性,疏松颗粒易喷溅导致膜层缺陷。高端光学镀膜要求高纯、高致密度颗粒。颗粒尺寸需匹配蒸发坩埚或电子束工位,过小易飞溅、过大熔化不均,常见1-3mm、3-5mm等规格,根据设备选择。部分吸潮材料(氟化物、部分氧化物)建议使用前低温烘烤除气,减少镀膜放气和喷溅。中科金研蒸发镀膜颗粒纯度等级齐全(钛颗粒99.995%、镍颗粒99.995%、铬颗粒99.95%-99.99%、钴颗粒最高99.9995%),颗粒大小可匹配客户蒸发舟或坩埚尺寸,随货附带纯度检测报告。
应用领域
广泛应用于光学透镜与镜头镀膜、显示面板镀膜、眼镜片增透膜、消费电子装饰镀膜、红外光学器件、半导体功能薄膜、低辐射玻璃、防伪薄膜、科研实验薄膜制备等领域。